文章编号：HGT202410002
关 键 词：蚀刻液/混酸/氢氟酸/氟硅酸
蚀刻液检测方案（混酸）
摘要
本方案主要适用于蚀刻液混酸中各组分的测试，特别是四种混酸（盐酸/硫酸/氢氟酸/氟硅酸）的蚀刻液体系。本次实验通过MT-V6自动电位滴定分析仪来测定蚀刻液混酸各组分浓度，如有工业在线分析以及智能化工厂需求则可以通过ALT工业在线分析设备来实现本方案需求。
仪器配置
●MT-V6
●颜色滴定模块
●20mL高精度计量管
●200mL滴定杯
●滴定单元1
●滴定单元2 试剂配置
●滴定剂1：0.5mol/L氢氧化钠标准溶液
●滴定度2：0.1mol/L硝酸银标准溶液
●试剂：试剂A/试剂B/饱和硝酸钾/硝酸
●指示剂1：酚酞
●指示剂2：铬酸钾
测定方法
●酸碱滴定/沉淀滴定/颜色滴定
●步骤一：称取适量样品，加入40mL饱和硝酸钾，加入5滴酚酞，用氢氧化钠标准溶液滴定至红色
●步骤二：在步骤一测试完后的溶液中加入80mL热水，搅拌30秒，用氢氧化钠标准溶液滴定至红色
●步骤三：称取适量样品，加入1mL试剂A，加入5滴酚酞，用氢氧化钠溶液调节至红色，加硝酸至红色恰好退却，加5滴铬酸钾指示剂，用硝酸银标准溶液滴定至砖红色
●步骤四：称取适量样品，加入6mL试剂B反应10min，加入40mL饱和硝酸钾，加入5滴酚酞，用氢氧化钠标准溶液滴定至红色，加入80mL热水后再次用氢氧化钠标准溶液滴定至红色
仪器参数
● 最小滴定体积：10μL
● 最大滴定体积：100μL
● 搅拌速度：35
● 每滴间隔：1000ms
● 终点模式：固定终点
● 终点设置：900
测试数据
● 环境温度：26℃ ● 环境湿度：53% ● 测试时间：单5min/总30min/在线60min
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测试数据 |
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序号 |
样品量/g |
V1/mL |
V2/mL |
V3/mL |
V4/mL |
|
1号 |
0.3426 |
7.2203 |
1.9911 |
9.2231 |
4.1232 |
|
2号 |
0.3264 |
6.8649 |
1.8665 |
9.0245 |
3.8535 |
|
3号 |
0.3252 |
6.9405 |
1.9428 |
8.7069 |
4.2024 |
|
4号 |
0.3376 |
7.1675 |
2.0063 |
9.1537 |
3.8043 |
|
5号 |
1.0245 |
10.6497 |
3.0920 |
7.5525 |
6.0716 |
|
6号 |
1.0404 |
10.8563 |
3.1936 |
7.6135 |
6.1659 |
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测试结果 |
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序号 |
氟硅酸/% |
盐酸/% |
氢氟酸/% |
硫酸/% |
|
1号 |
10.47% |
9.82% |
9.34% |
8.47% |
|
2号 |
10.30% |
10.08% |
9.13% |
8.62% |
|
3号 |
10.76% |
9.76% |
9.53% |
8.54% |
|
4号 |
10.70% |
9.89% |
9.19% |
8.95% |
|
5号 |
5.44% |
2.84% |
4.36% |
7.28% |
|
6号 |
5.52% |
2.82% |
4.29% |
7.53% |
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测试图谱 |
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